Ingénierie et conception de microsystèmes électromécaniques (MEMS)

La technologie à petite échelle est à l'origine des plus grandes innovations en électronique aujourd'hui, des capteurs de mouvement des smartphones aux implants médicaux avancés.Ce cours fournit un chemin clair dans le monde des systèmes micro-électromécaniques (MEMS), décomposant le fonctionnement de ces minuscules machines et leur fabrication au niveau microscopique.Vous passerez de l'apprentissage des principes physiques de base à la compréhension des flux de travail complexes requis pour créer des micro-dispositifs fonctionnels, en acquérant les connaissances spécialisées nécessaires pour naviguer à l'intersection de l'ingénierie mécanique et de l'électronique. Ce que vous apprendrez: - Comprendre les principes fondamentaux de l'échelle et la physique unique du mouvement à micro-échelle. - Identifier les matériaux MEMS essentiels, y compris le silicium, les polymères et les couches minces piézoélectriques. - Explorez les techniques de fabrication de base telles que la photolithographie, la gravure et le micro-usinage de surface. - Analyser le fonctionnement des dispositifs MEMS courants tels que les accéléromètres, les gyroscopes et les capteurs de pression. - Appliquer les connaissances des exigences d'emballage et de test pour des performances fiables des microsystèmes. - Examiner les tendances modernes en BioMEMS et l'intégration de micro-capteurs avec les réseaux IoT. Le cours commence par la terminologie et les concepts fondamentaux avant de passer à des explications écrites détaillées des propriétés des matériaux et des étapes de fabrication. Vous explorerez ensuite des architectures de dispositifs spécifiques et les défis pratiques liés à la commercialisation de systèmes à micro-échelle à travers des études de cas techniques. Ce cours est conçu pour les débutants, les étudiants et les professionnels à la recherche d'une introduction technique à la micro-ingénierie sans expérience préalable en MEMS.