Fundações de MEMS: Técnicas de Micro e de Nanofabrication

A tecnologia que alimenta sensores modernos, smartphones e dispositivos médicos depende de estruturas menores que um cabelo humano.Entender como esses sistemas de micro e nanoescala são projetados e fabricados é essencial para a próxima geração de engenharia de hardware. Este curso somente de texto fornece uma introdução abrangente aos processos fundamentais de microfabricação e nanofabricação. Você fará a transição da compreensão das propriedades básicas do silício para compreender as etapas químicas e físicas complexas usadas para construir sistemas microeletromecânicos funcionais (MEMS). Compreender a terminologia, a história, e a física fundamentais do núcleo de MEMS e de nanotecnologia. 2. Explicar os processos passo a passo da fotolitografia, do depósito, e da gravura em um ambiente da sala de limpeza. 3. Compare técnicas de microusinagem de massa e superfície para criar microestruturas 3D complexas. 5.Explore os avanços modernos de fabricação, incluindo litografia de nanoimpressão e gravura de alta proporção. 6.Avalie os protocolos de segurança de salas limpas, controle de contaminação e métodos de inspeção de qualidade. O curso começa com conceitos fundamentais de física de microescala e ciência dos materiais antes de guiá-lo através dos processos químicos e físicos usados em salas limpas modernas.Você estudará estruturas de dispositivos MEMS do mundo real, como acelerômetros e sensores de pressão, para ver como essas etapas de fabricação se unem na prática. Projetado para estudantes de engenharia, técnicos e profissionais curiosos novos para a nanotecnologia, este curso não requer experiência prévia em salas limpas.Comece a ler hoje para construir uma base sólida no mundo da engenhar... [-]