Foundations of MEMS: Micro and Nanofabrication Techniques (bằng tiếng Anh).

Công nghệ cung cấp cảm biến hiện đại, điện thoại thông minh và thiết bị y tế dựa trên các cấu trúc nhỏ hơn một sợi tóc người. Hiểu được cách các hệ thống vi và nanoscale này được thiết kế và sản xuất là cần thiết cho thế hệ tiếp theo của kỹ thuật phần cứng. Chương trình chỉ có văn bản này cung cấp một giới thiệu toàn diện về các quá trình cơ bản của vi chế tạo và sản xuất nano. Bạn sẽ chuyển từ việc hiểu các tính chất silicon cơ bản đến việc nắm bắt các bước hóa học và vật lý phức tạp được sử dụng để xây dựng các hệ thống cơ điện tử vi mô (MEMS). Trong khóa học này, bạn sẽ học: 1. Hiểu được thuật ngữ cốt lõi, lịch sử và vật lý cơ bản của MEMS và công nghệ nano. 2. giải thích các quá trình từng bước của photolithography, lắng đọng, và khắc trong một môi trường phòng sạch. 3. Phân tích các tính chất cơ học và điện của silic và các vật liệu nền thay thế. 4. So sánh kỹ thuật vi máy bề mặt và bề ngoài để tạo ra vi cấu trúc 3D phức tạp. 5.Tìm hiểu các tiến bộ sản xuất hiện đại, bao gồm in khắc nanoimprint và in kỹ thuật số. 6. Đánh giá các quy trình an toàn phòng sạch, kiểm soát ô nhiễm và phương pháp kiểm tra chất lượng. Chương trình bắt đầu với các khái niệm cơ bản của vật lý và khoa học vật liệu quy mô vi mô trước khi hướng dẫn bạn qua các quá trình hóa học và vật lý được sử dụng trong các phòng sạch hiện đại. Bạn sẽ nghiên cứu cấu trúc thiết bị MEMS thế giới thực, chẳng hạn như máy đo gia tốc và cảm biến áp suất, để xem các bước chế tạo này đi cùng nhau như thế nào trong thực tế. Được thiết kế cho sinh viên kỹ thuật, kỹ sư và chuyên gia tò mò mới đến công nghệ nano, khóa học này không yêu cầu kinh nghiệm phòng sạch trước đó. Bắt đầu đọc hôm nay để xây dựng một nền tảng vững chắc trong thế giới của kỹ thuật vi và nano.